一、產品(pǐn)概述:
Axia
ChemiSEM掃描電鏡,可進行樣品成分信息的采(cǎi)集、處(chù)理和展示;依托先進鏡筒技術,保持係(xì)統始終(zhōng)處於穩定狀態,可ju焦樣品采(cǎi)集數(shù)據(jù),提供高質(zhì)量圖像(xiàng);采用全開門式設(shè)計,耐用性和靈活性更高;可搭(dā)載(zǎi)多款掃描電鏡軟件實現(xiàn)多種自動化功能;簡約化(huà)設計,全方麵性(xìng)能出色,可表征各種不同類型材料,提供全麵的信息。其成像平台(tái)即時可用,集成實時定量能譜麵分析功能,成像(xiàng)即刻並融合成分信息,專為快速分析而(ér)設計,操作輕鬆自如。
二、產品參數:
發(fā)射源:預對(duì)中鎢(wū)燈絲
分辨率: 3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
放大倍數:5 ~ 1,000,000×(寶麗來相紙放大)
加速電壓範圍:200V ~ 30kV
探針電流範圍:可達到(dào)2μA,連(lián)續可調
X-Ray工(gōng)作距離:10 mm,EDS檢(jiǎn)出角:35°
樣品(pǐn)室(shì):內寬280mm,端口10個
樣品台:五軸全自(zì)動馬達驅動
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15º~90º,
☆ R=360º (連(lián)續旋(xuán)轉)
☆ 承(chéng)重 10 kg
探(tàn)測器係統:
☆ 高真空二次電子(zǐ)探測器(qì)ETD
☆ 可伸縮式背散射探測器BSED
☆ 樣品室內(nèi)紅外(wài)相機(jī)CCD
☆ 圖像導航彩色(sè)光學相機Nav-Cam+™
☆ 具有ChemiSEM技術的TrueSight X EDS 探測器
控製係統:
☆ 操作係(xì)統(tǒng):Windows 10
☆ 圖像顯示:24寸LCD顯示器(qì),高顯(xiǎn)示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自(zì)定(dìng)義的GUI,可同時實時顯示四(sì)幅圖像(xiàng)
☆ 軟件支持Undo和(hé)Redo功能
實時成分信息:同步掃描(miáo)獲取多種(zhǒng)信號時執行能譜(pǔ)分析,實時檢測(cè)形貌與元素(sù)信息;
成像平台即時可用:隻需關注數據采集,不必憂慮電鏡條件設置(zhì);
快速獲得數據:多種成像和掃描策略,優化(huà)圖像采集效果(guǒ)並提升係統處理能力;
靈活的樣品台設計:全開門式設計,大樣品(pǐn)可輕鬆加載到樣品倉內,10 kg;
成像性能:提供低真(zhēn)空模式和(hé)電子束減速模式用於(yú)消除荷電效應。